真空镀膜机英福康振荡器单元配（pèi）薄膜（mó）控制仪

真（zhēn）空镀膜机英福康振荡器单（dān）元配薄（báo）膜控制仪

IC6 薄膜沉积控制器在 INFICON 薄膜沉积控制器可靠成熟的性能（néng）基础上，增添了更（gèng）多的功能

，可帮助您实现沉积过程的（de）大价值。IC6 使用我们的 ModeLock 频（pín）率（lǜ）测量系统，提供稳定、高分辨

率的速（sù）率和厚度测量，速率分辨率可达每 1/10 秒 0.00433 Å/s，是行业中（zhōng）的。IC6 具（jù）有其（qí）

他石英晶体控制器比（bǐ）拟的性能、品质和（hé）功能，赋予您的过程的可（kě）重复性（xìng）。

功能

INFICON ModeLock 技术确保获得高、稳定（dìng）的速率和厚度测量分辨率（lǜ），即使（shǐ）在速率低的情况下

Auto Z 技（jì）术通过自动测定沉积材料的 Z 比值，可提高厚度测（cè）量的精度

支持zui多（duō）六个来源同时共镀膜（mó）

彩色 TFT LCD 显示屏（píng）使用户（hù）很容易看到过程的进展状（zhuàng）况

100ms 样本速率下频率范围为（wéi） +/-0.0035 Hz

USB 数据存储功能可存储屏幕截（jié）图、配方存储和数据（jù）记录

强大的 I/O 凭借其灵活性可融入简单或复杂的系统（使用可扩展（zhǎn）输入（rù） (28) 和输出 (24 继电器，

14 TTL 输出)，并充分利用逻辑功能（100 个逻辑（jí）语（yǔ）句）

6 个标准 DAC 输出和另外 6 个可选输出用于来源控制、速（sù）率或厚度监控

可容纳多 50 个过程，每个过程 200 层（céng），这些过程关联（lián）到一起，总共可容纳 10,000 层。

多路（lù）传感器可平均分配为 8 个传感器（qì）

4 米 XIU 选件能够在大型（xíng）系统中使用（yòng）较长的真空传感器（qì）电缆

可选以太网通信

符合 RoHS 标准

典（diǎn）型应用

光学镀膜

真空镀（dù）膜机英福康振荡器单元（yuán）配薄膜控制仪

镀