中国台湾汉钟iPM600螺杆泵维修

中（zhōng）国台湾汉（hàn）钟iPM600螺杆（gǎn）泵维修

IPM半导体中度（dù）严苛系列 型号有iPM100,iPM600
用途：Load Lock、Transfer、Metrology、PVD、Etch、Ashing、Litho、Implant
特点：绿（lǜ）色制造、全新系（xì）列干式真空泵
      体积小、耗功低、大幅度（dù）降低成本
      用于中（zhōng）度严（yán）苛制程的节能泵

汉钟PD变距系列（liè）干式螺杆（gǎn）真（zhēn）空泵主要特（tè）点（diǎn）：
汉钟螺杆真空泵（bèng）排气路径短，减少反应物沉积
hanbell干式螺杆真空泵相较于其他形式的真空泵，因气体于泵内的传输路径最（zuì）短，最不易产生反应物（wù）沉积的现象。
汉钟螺杆真空泵线形密封性佳，泵浦性（xìng）能佳（jiā）
Hanbell干式螺杆真空泵（bèng），*转（zhuǎn）子密封线形，转子密封性（xìng）佳，转子能以较大（dà）的啮合间隙（xì）达到（dào）更快（kuài）的抽气效果，由于汉（hàn）钟真空泵的啮（niè）合间隙较大，泵浦较不易因制程气体沉积而（ér）卡死（sǐ），转子也较不易因（yīn）磨耗而需更换。
汉钟螺杆真空泵结构简单，故障率（lǜ）低，维护容易
Hanbell干式（shì）螺杆真空泵因只需要利用一对转子相互啮（niè）合达到密封效果，结构上不像其他形式的真空泵需要有中间隔板的设计，降低转子（zǐ）与隔（gé）板沉积卡（kǎ）死的风险（xiǎn）。且因（yīn）其结构单纯，拆（chāi）卸维修也比较（jiào）容易，因（yīn）此能缩短维修时程，降低（dī）维修费用。
汉钟螺杆真空泵微电脑操作，远端监控，保护周全
Hanbell干式螺杆泵微电脑控（kòng）制器提供真空最简易的操作（zuò）方式并能显示真（zhēn）空泵完整的运转（zhuǎn）状态，方便使用者对泵应用状态进行调整，在（zài）真空泵产生问题前进行预防保养。远端监控系统（tǒng）能（néng）够提（tí）供使（shǐ）用者方便的监控工具（jù），使用者不需到现场（chǎng）就能够了解真空泵的运行状态。
 
汉（hàn）钟螺杆（gǎn）真空泵典型应（yīng）用：
面板TFT-LCD, Touch Panel
太阳能Solar
冶金系统Metallurgical System
镀（dù）膜Coating
电浆制（zhì）程Plasma processes
干燥处理Drying Process
制程气体（tǐ）抽取Degassing
生技（jì）/制药Biotech/Pharmaceutical
化工产业Chemical Industry
锂电池Battery

PA油螺（luó）杆真空泵型号PA350VSD+,PA585VSD+,PA730VSD+,PA900VSD+,PA1300VSD+,PA1600VSD+,PA1900VSD+
PA VSD+系列真空泵（bèng）是一款（kuǎn）节能，环保（bǎo）的永磁变频微油螺杆真空泵。

高效能

得益于变频驱动控制，PA VSD+可提供所需的流量而不会过量，避免浪费能源。新（xīn）型（xíng）的螺杆型线（xiàn）设计，性能提（tí）升。采用IE4高效永磁电机直接驱动，的降低功耗。

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