iH600愛德華幹式泵維修

更新時間：2024-07-04

簡要描（miáo）述：

iH600愛德華幹式泵維修
iH1800 幹式泵 380/415V，50 Hz，3 相
A59040946
技術數據（jù）
峰值速度 1800 m3h-1
1060 cfm

產品型號（hào）：
廠（chǎng）商性質：經銷商（shāng）
產品廠（chǎng）地：東莞市（shì）
訪問次數：1630

品牌	Edwards/英國愛德華	輸送介質	其他
泵軸位置	其（qí）他（tā）	葉輪數目	其他
應用領域	醫療衛生,化工,生物產業,能源,電子

iH600愛（ài）德華幹式（shì）泵維修（xiū）

iH600 幹式泵 380/415V，50 Hz，3 相

A59020946

技術數據

峰（fēng）值速度 518 m3h-1

305 cfm

8635 l min-1

極限真空 2 x 10-3 mbar

1.5 x 10-3 Torr

0.2 Pa

典型軸封氮流量 4 slm

進氣口連接 ISO100

出口連（lián）接 NW40

15 psi 壓降下典型冷卻（què）水流量 240 l h-1

4 l min-1

重量 415 kg

極限功率輸入 3.1 kW

電機額定功率 5.1 kW

油容量 1.43 l

功能和優（yōu）勢
優化（huà）了設施消耗。
無需預防性維護。
懸臂軸和特殊的（de）異型轉子便於顆粒的處理（lǐ）。
在節省（shěng）電機功率的同（tóng）時大（dà）程度提高了工作繁（fán）重的 CVD 應用條件（jiàn）下的穩定性。
耐腐蝕的製造（zào）材（cái）料允許泵送腐蝕性氣體。
較高的工作溫度為避免氣體冷凝提供了充（chōng）分的安全保證。
整體式軸杆無需使用電機聯結器，而第五級泵消除了使用消音器（qì）的（de）需要並消除（chú）了顆粒堆積，從而降低了（le）總體占地麵積

概述
Edwards 高級半導體真空泵已經過現場應用（yòng）證明，可以（yǐ）按照高工作（zuò）標準運行。通過延長使用壽命（mìng）、提高運行時間並提高生產率，同時大程度地減小占地麵積、降低運行（háng）成本，實現了高的（de）可靠性和性能（néng）。

iH 係列為難以（yǐ）執行的製程（如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產品的（de） PECVD 和 LPCVD 製程）提供了高可（kě）靠性。
應用
負（fù）載鎖
輸送
計量
平版印刷
PVD 製程
PVD 預清（qīng）潔
RTA
剝離/灰化
刻蝕
植入源
HDP CVD
RTP
SACVD
MCVD
PECVD
LPCVD
ALD