nXDS10i愛德華渦旋泵維修

nXDS10i愛德華渦旋泵維修

Edwards XDS 和 nXDS 係列幹式渦旋泵
Edwards 幹式渦旋泵為各種應用提供成熟的幹式清（qīng）潔真空解決方案。

當需要無油抽空時，渦旋泵是旋片泵的替代品。

Edwards XDS35i 幹式渦旋泵
Edwards XDS35i 幹式渦旋泵

XDS 幹式渦旋泵
在幹泵真空領域，XDS 幹式渦旋（xuán）泵已成為行業標準，在廣泛的應用中被（bèi）證明是一種堅固（gù）耐用且清（qīng）潔的真

空泵解決方（fāng）案。

現在，結合雙啟動渦旋形（xíng）式技術和（hé）旁通閥，Edwards 得以提供 XDS35i 增強型係列泵，以補充我

們原有的產品線。

Edwards nXDS15i 幹（gàn）式渦旋泵
Edwards nXDS15i 幹式渦旋泵

nXDS 幹式渦旋泵
nXDS是我們新一代的渦旋泵，與其（qí）他泵相比，具有（yǒu）更高的抽（chōu）取速度、更（gèng）低的極限壓力、更低的功耗和

更（gèng）低的噪聲級。

nXDS 泵的設計力求實現*現場維（wéi）修。其智能（néng）控（kòng）製功能和長達五年的維修間隔可降（jiàng）低擁有成本，使其

成為當今（jīn）技（jì）術*的小型幹泵。

軸承護罩
確保製程氣體和軸承（chéng）潤滑分離（lí），以保（bǎo）證清潔真空並使潤滑不被製程氣體汙（wū）染，從而延長（zhǎng）軸承使用壽命（mìng）。

智能（néng）電機驅動
意味（wèi）著全程穩定的性能（néng）、泵過載（zǎi）保護和遠程啟動/停止功能。

高流速氣囊功能
允許泵（bèng）送蒸汽，包括（kuò）高達 240 gh-1 的水蒸汽

簡便的單側渦旋設計
可在數分鍾內完成維護，以降低擁有成本並程度延長正常運行（háng）時間。

更進一步
增強（qiáng）型（xíng）在初始抽（chōu）空期間（jiān）可減少多達 20％ 的峰（fēng）值電力需求，這意味著它能夠（gòu）在不損失性能（néng）的情況下抽空

大容量腔室，且（qiě）在該粗抽壓力下抽取速度可提高達 25％，這也有助於提高應（yīng）用循環頻率。

nXDS 幹式渦（wō）旋（xuán）泵

改善工作環境，降低環境影響
運行安靜

操作（zuò）簡單
控製裝置智（zhì）能且易於使用

無汙染、無（wú）油
全密封、免潤滑的（de）真空環境（jìng）

低（dī）使用成本
服務（wù）間隔長，功耗低

更快（kuài）的製程
蒸汽處理

nXDS10i愛德（dé）華渦旋泵維修