iH1000愛德華半導體幹泵（bèng）維修

iH1000 幹式泵 460V，60 Hz，3 相

A59030908

技術數據

峰值（zhí）速度                1000 m3h-1

                                589 cfm

                                16670 l min-1

極限真（zhēn）空                1 x 10-3 mbar

                                7.5 x 10-4 Torr

                                0.1 Pa

典型軸封氮流量                4 slm

進氣口連接                ISO100

出口連接                NW40

15 psi 壓降下典型冷卻水流量240 l h-1

                                4 l min-1

重量                        430 kg

極限功率輸（shū）入                3.8 kW

電機額（é）定功率                6.1 kW

油（yóu）容量                        1.48 l

所有數字均（jun1）為無（wú）氣鎮時的典型值。

iH1000 幹式泵 200/208V，50/60 Hz，3 相

A59030945

技術數據

                                50 Hz        60 Hz

峰值速度                950 m3h-11000 m3h-1

                                560 cfm        589 cfm

                                15837 l min-116670 l min-1

極限真空                2 x 10-3 mbar1 x 10-3 mbar

                                1.5 x 10-3 Torr7.5 x 10-4 Torr

                                0.2 Pa        0.1 Pa

典型軸封氮流量                4 slm        4 slm

進氣口連接                ISO100        ISO100

出口連接（jiē）                NW40        NW40

15 psi 壓降下典型冷卻水流（liú）量240 l h-1240 l h-1

                                4 l min-14 l min-1

重量                        430 kg        430 kg

極限功率輸入                3.5 kW        3.8 kW

電機額定功率                5.1 kW        6.1 kW

油容量                        1.48 l        1.48 l

功能和優勢

優（yōu）化了設施消耗。

無需預（yù）防性維護。

懸臂軸和特殊的異型轉子便於顆粒的處理（lǐ）。

在（zài）節省電機功率的同時大程度（dù）提高了工（gōng）作繁重的 CVD 應用條件下的穩定性。

耐腐蝕的製造材料允許泵送腐蝕性氣體。

較高的工作溫度為避免氣體冷凝提供了充分的安全保證。

整體式軸杆無需使用電機聯結器，而第五級泵消除了（le）使用（yòng）消音器的需要並消除了顆粒堆積，從（cóng）而降低了（le）總體占地麵（miàn）積（jī）

概述

Edwards 高級半導體真（zhēn）空泵已經過現場應用證明，可以按照最高工作標準運行。通過延長使用壽命、提高運行時間並提（tí）高生產率，同時大程度地減小占地麵積、降低運行成本，實現了高的可靠（kào）性和（hé）性能。

iH 係列（liè）為難以執行的製程（chéng）（如存在微（wēi）粒、易冷凝和腐蝕性副產品的 PECVD 和 LPCVD 製程）提供了高可靠性。

應用（yòng）

負載鎖

輸送

計（jì）量

平版印刷（shuā）

PVD 製程

PVD 預清潔

RTA

剝離/灰化

刻蝕

植入源

HDP CVD

RTP

SACVD

MCVD

PECVD

LPCVD

ALD

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