愛德華幹泵維修，愛德華半導體幹泵型號iH80,iH160,iH1000,iH1800
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半導體幹泵iXM 係列 —— 低能耗性能

通過增加正常運行時間、減少對環境的影響以及良好的成本效益，iXM 低能耗幹泵可為您的關（guān）鍵應用帶來真正的製程改進。

高效的根（gēn）源機製可將輸入功率減少（shǎo）多達 60％，從而減少對環境的影響並降低總體使用成本
氣體阻隔技術和隔熱設（shè）計方麵的改進使（shǐ）產品（pǐn）的抗腐（fǔ）蝕性比（bǐ）我們之前的係列（liè）提高了四倍
先（xiān）進的粉塵處理功能可為多層蝕（shí）刻工藝提供更高的可靠性，延（yán）長（zhǎng）真空泵使用壽命，並降低 CVD 工藝的功耗
緊湊（còu）輕巧的設計，加上極低的噪聲和振（zhèn）動，可提供更多的用途
采用 Xcede 技術，增強了耐（nài）腐蝕性。

半導體幹泵（bèng）用於重（chóng）型應用的 iXH 係列

iXH 幹泵係列為嚴苛的工藝能力、可靠性和更低的擁有成本樹（shù）立了新標準。

寬廣的溫度範圍使您可以對真空設備進（jìn）行優化，更大地減少冷凝和（hé）電鍍的（de）副產（chǎn）物累積
iXH Mk2 幹泵可在嚴苛的工藝中提供更長的使用壽命，並且可以（yǐ）顯著提高（gāo）功效
創新的密封技術可以延（yán）長製程壽命（mìng）並降低泄漏風險
采用 Xcede 技術，增強了耐腐蝕性。

半導體幹泵用於輕型應用的 iXL 係列（liè）

iXL 係列是係列低能（néng）耗緊湊型幹泵，適用於輕量（liàng）應用，例如晶片處理、PVD 和計量。

快速腔體抽（chōu）空和（hé）極（jí）低功耗 
iXL600(N) 和（hé） iXL1000(N) 幹泵是輕量應用中小、安靜的泵之一 
iXL600M 和 iXL1000M 兩種型（xíng）號經過工藝加固，專門設計用（yòng）於電（diàn）介質（氧化）蝕刻和其他類似應用 
iXL600(N) 和 iXL1000(N) 幹（gàn）泵具有高抽取速（sù）度和低能耗（hào）的特點
iXL900R 是目前同類產品中（zhōng）速度快的（de）負載鎖（suǒ）定泵（bèng），用（yòng）於 FPD 負載鎖定應用。使用這（zhè）種（zhǒng）新型泵（bèng），客戶可以顯著降低其運營成本和安裝（zhuāng）時間，特別適用於等離子（zǐ）體氣（qì）相沉積 (PVD) 應（yīng）用的（de）大負載鎖（suǒ）定腔室。此外，每個負載鎖定腔室需（xū）要的泵會更少，從而減少了客戶的安裝時間、係統化成本、維護和公共（gòng）設施消耗。
“綠色模式”可（kě）減少閑置期間的公共設施使用、降低成本並有助於提高（gāo）環境績效